材料記号	材料名	皮膜特性
W	タングステン	耐食性、セラミック溶射のアンダーコート材としても使われる
Mo	モリブデン	摺動面のかじり防止、耐焼き付き性の向上
Ta	タンタル	耐腐食性。スパッタターゲット材
Nb	ニオブ	スパッタターゲット材
Ti	チタン	人工骨、人工関節
Si	ケイ素、シリコン	スパッタターゲット材。真空装置内の防着板、内壁
Ni	ニッケル	耐腐食性。スパッタターゲット材
Fe	鉄	磁気特性、磁性体としてIH機器の発熱部に使われる
Cu	銅	導電性部材。ハンダとの濡れ性が良い。
Al	アルミ	導電性部材。耐食性
Ag	銀	スパッタターゲット材
Sn	スズ	スパッタターゲット材
Zn	亜鉛	スパッタターゲット材