Thermal spraying 溶射加工
その他
Machining example加工事例
接触子
| 溶射方法 | コールドスプレー |
| 溶射材料 | Cu |
| 溶射目的 | 電気伝導性 |
| 母材材質 | Al系 |
| 備考 | 膜厚：約8mm |
オゾン発生装置ガラス電極オゾナイザー
| 溶射方法 | 大気プラズマ溶射 内径ガン |
| 溶射材料 | Al |
| 溶射目的 | 電気伝導 |
| 母材材質 | パイレックスガラス |
| 備考 | 母材寸法：内径φ76.5 ×L:1450mm 溶射膜厚：80μm |
半導体製造装置、静電チャック、バッファーリング
| 溶射方法 | 大気プラズマ溶射 |
| 溶射材料 | アルミナ、アルミナチタニア、イットリア |
| 溶射目的 | 耐プラズマ性向上、電気絶縁性、真空中でのウェハーチャック力向上、コンタミ防止etc. |
| 母材材質 | アルミ、ステンレス、アルミナ焼結体 etc. |
| 備考 | 後加工 ：封孔処理、研摩、ラッピング、エンボス加工 |
ウェハートラック用温度調節プレート
| 溶射方法 | 大気プラズマ溶射 |
| 溶射材料 | アルミナ、銅 |
| 溶射目的 | 電気絶縁、低熱抵抗、耐湿性 |
| 母材材質 | Cu＋メッキ |
| 備考 | 封孔処理 |
パワーモジュール用ヒートシンク基板
| 溶射方法 | 大気プラズマ溶射 |
| 溶射材料 | アルミナ、銅 |
| 溶射目的 | 電気絶縁、低熱抵抗、耐湿性 |
| 母材材質 | Cu＋メッキ、窒化アルミ etc. |
| 備考 | 封孔処理 |