機能から選ぶ溶射
絶縁性
| 対応溶射技術 | |
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| 基材 | |
| 用途 |
加工事例
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バッフルリング
溶射方法 大気プラズマ溶射 溶射材料 アルミナ 溶射目的 耐腐蝕、電気絶縁、コンタミ防止 母材材質 Al系 備考 溶射皮膜：200μm プラズマエッチング装置部品 -
レーザー電極
溶射方法 大気プラズマ溶射 溶射材料 アルミナ 溶射目的 電気絶縁性、放電防止 母材材質 石英ガラス 備考 溶射膜厚：100〜200μm -
半導体製造装置、静電チャック、バッファーリング
溶射方法 大気プラズマ溶射 溶射材料 アルミナ、アルミナチタニア、イットリア 溶射目的 耐プラズマ性向上、電気絶縁性、真空中でのウェハーチャック力向上、コンタミ防止etc. 母材材質 アルミ、ステンレス、アルミナ焼結体 etc. 備考 後加工 ：封孔処理、研摩、ラッピング、エンボス加工 -
ウェハートラック用温度調節プレート
溶射方法 大気プラズマ溶射 溶射材料 アルミナ、銅 溶射目的 電気絶縁、低熱抵抗、耐湿性 母材材質 Cu＋メッキ 備考 封孔処理 -
パワーモジュール用ヒートシンク基板
溶射方法 大気プラズマ溶射 溶射材料 アルミナ、銅 溶射目的 電気絶縁、低熱抵抗、耐湿性 母材材質 Cu＋メッキ、窒化アルミ etc. 備考 封孔処理 -
セラミック溶射ロール
溶射方法 大気プラズマ溶射 溶射材料 アルミナ 溶射目的 耐電圧性能 20kV 母材材質 鉄系 備考 研摩加工 -
バッフルプレート
溶射方法 大気プラズマ溶射 溶射材料 アルミナ
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