機能から選ぶ溶射:絶縁性

機能から選ぶ溶射

絶縁性

対応溶射技術
基材
用途

加工事例

  • バッフルリング

    溶射方法 大気プラズマ溶射
    溶射材料 アルミナ
    溶射目的 耐腐蝕、電気絶縁、コンタミ防止
    母材材質 Al系
    備考 溶射皮膜:200μm プラズマエッチング装置部品
  • レーザー電極

    溶射方法 大気プラズマ溶射
    溶射材料 アルミナ
    溶射目的 電気絶縁性、放電防止
    母材材質 石英ガラス
    備考 溶射膜厚:100〜200μm
  • 半導体製造装置、静電チャック、バッファーリング

    溶射方法 大気プラズマ溶射
    溶射材料 アルミナ、アルミナチタニア、イットリア
    溶射目的 耐プラズマ性向上、電気絶縁性、真空中でのウェハーチャック力向上、コンタミ防止etc.
    母材材質 アルミ、ステンレス、アルミナ焼結体 etc.
    備考 後加工 :封孔処理、研摩、ラッピング、エンボス加工
  • ウェハートラック用温度調節プレート

    溶射方法 大気プラズマ溶射
    溶射材料 アルミナ、銅
    溶射目的 電気絶縁、低熱抵抗、耐湿性
    母材材質 Cu+メッキ
    備考 封孔処理
  • パワーモジュール用ヒートシンク基板

    溶射方法 大気プラズマ溶射
    溶射材料 アルミナ、銅
    溶射目的 電気絶縁、低熱抵抗、耐湿性
    母材材質 Cu+メッキ、窒化アルミ etc.
    備考 封孔処理
  • セラミック溶射ロール

    溶射方法 大気プラズマ溶射
    溶射材料 アルミナ
    溶射目的 耐電圧性能 20kV
    母材材質 鉄系
    備考 研摩加工
  • バッフルプレート

    溶射方法 大気プラズマ溶射
    溶射材料 アルミナ

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