機能から選ぶ溶射
スパッタリングターゲット
スパッタ装置に取付けるスパッタリングターゲットを溶射やコールドスプレーで製造いたします。
特に円筒型ターゲットではバッキングチューブへのボンディングが困難な長尺もの、あるいはニオブ、タンタルのような高融点の金属のため鋳込みができないものなどへの適用事例があります。
最大ワークサイズ
L4,000×φ160 mm など
| 対応溶射技術 | プラズマ溶射 コールドスプレー |
|---|---|
| 基材 | SUS304 チタン 銅 |
| 用途 | 建材ガラス用Low-E用途 光学膜用途 他 |
加工事例
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Cuスパッタリングターゲット
溶射方法 コールドスプレー 溶射材料 Cu 溶射目的 スパッタリングターゲト母材 母材材質 ステンレス 備考 溶射膜厚：最大約9mm 母材サイズ：約φ200、長さL:750mm 母材長さ3.8mまで対応可能。 -
Ni円筒ターゲット
溶射方法 コールドスプレー 溶射材料 Zn、Zn-Al合金、Sn、Sn-Zn合金、Ni、Ti、Al、Cu、Ag etc. 母材材質 ステンレス、チタン、銅 etc. 備考 後加工：旋盤加工、フライス加工 ターゲット長さ4 mまで製作可能です。 部分的な補修も可能です。 -
Alスパッタリングターゲット
溶射方法 コールドスプレー 溶射材料 Al 溶射目的 スパッタリングターゲト母材 母材材質 ステンレス 備考 溶射膜厚：最大約7mm 母材サイズ：約φ200、長さL:750mm 母材長さ3.8mまで対応可能。 -
Niプレートターゲット
溶射方法 コールドスプレー 溶射材料 Ni 溶射目的 プレーナー型スパッタターゲト母材 母材材質 ステンレス 備考 溶射膜厚：最大約16mm 母材サイズ：幅200mm、長さL:約1.6m 母材長さ3.8mまで対応可能。 -
Zn-2Alスパッタリングターゲット
溶射方法 コールドスプレー 溶射材料 Zn-2Al 溶射目的 スパッタリングターゲト母材 母材材質 ステンレス 備考 溶射膜厚：最大約16mm 母材サイズ：約φ200、長さL:3.2m 母材長さ3.8mまで対応可能。 -
Tiスパッタリングターゲット
溶射方法 コールドスプレー 溶射材料 Ti 溶射目的 スパッタリングターゲト母材 母材材質 ステンレス 備考 溶射膜厚：最大約16mm 母材サイズ：約φ200、長さL:3.2m 母材長さ3.8mまで対応可能。 -
Ag大型スパッタリングターゲット
溶射方法 コールドスプレー 溶射材料 Ag,Ag合金 溶射目的 スパッタリングターゲト母材 母材材質 ステンレス 備考 溶射膜厚：最大約16mm 母材サイズ：約φ200、長さL:3.2m 母材長さ3.8mまで対応可能。 -
Ag小型スパッタリングターゲット
溶射方法 コールドスプレー 溶射材料 Ag,Ag合金 溶射目的 スパッタリングターゲト母材 母材材質 ステンレス 備考 溶射膜厚：約7mm 母材サイズ：約φ65、長さL:350mm 母材長さ3.8mまで対応可能。 -
TiO2スパッタリングターゲット
溶射方法 大気プラズマ溶射 溶射材料 酸化チタン 溶射目的 スパッタリングターゲト母材 母材材質 ステンレス、チタン 備考 溶射膜厚：約6mm 母材サイズ：約φ180、長さL:750mm 母材長さ3.8mまで対応可能。 -
Siスパッタリングターゲット
溶射方法 大気プラズマ溶射 溶射材料 Si ,Si-Al 配合率は任意％ 溶射目的 スパッタリングターゲト母材 母材材質 ステンレス、チタン 備考 溶射膜厚：約10mm 母材サイズ：約φ65、長さL:350mm 母材長さ3.8mまで対応可能。
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